1. X-Ray Diffractometer, XRD란
- XRD란 X-Ray Diffraction의 약자로서 X-ray를 어떠한 샘플에 투사하면 X선이 산란 및 회절을 하게 되는데 이러한 회절 패턴을 분석하는 것을 말한다. 이를 응용하면 물질의 미세 구조를 보다 정확하게 알 수 있다.
- 회절 X선 스펙트럼을 이용하는 시성분석법. X선 회절사진의 흑화도를 측정하든가 또는 X선 회절계를 사용해서 고체시료의 회절 X선을 취해서 물질의 동정(同定) 혼합분말의 혼합화의 결정, 고용체의 분석 등을 하는 방법등이 있다. 최근에는 자기(自記) X선 회 절계가 발달했기 때문에 단색 X선에 의한 분말결정의 산란강도 분포측정이나 면간격 을 이미 알고 있는 결정의 면반사를 이용해 입사 X선의 파장스펙트럼 분석을 자동적 으로 할 수가 있도록 되었다.
2. XRD의 원리
- X-ray diffraction은 1912년에 결정에 의해서 X-ray가 회절 한다는 현상이 발견됨으로써 X-ray의 파동성이 증명되고 물질의 미세구조를 조사하는 새 방법이 제안됨에 따라 XRD가 개발되었다. X-ray는 전기적으로 하전된 particle이 충분한 운동에너지를 가진 상태에서 급속히 감속될 때 발생하는데, 두 금속 전극사이에 수만 volt의 높은 전압을 걸어주면 양극은 전자를 급히 끌어 당기게 되므로 전자는 매우 빠른 속도로 target과 충돌하게 되고 그 충돌 시 X-ray는 발생하여 모든 방향으로 방출 된다. Target과 충돌하는 전자의 대부분의 운동에너지는 열로 방출되고 1% 이하만이 X-ray로 된다. Target에서 나오는 X-ray는 여러 가지 다른 파장을 가진 선들의 복합체이며 파장에 따른 intensity와 X-ray tube voltage에 따라 변화한다.
분석에 이용하는 X-ray는 Characteristic spectrum으로 X-ray tube의 전압이 target 금속의 특성치인 어떤 임계값 이상이 되면 발생하는 X-ray를 사용한다.