전자총에서의 전자생성과
전자가 시료에 도달하기까지
전자총
렌즈
조리개 (Aperature)
축조정 코일
주사 코일
비점수차 보정 코일(Stigmator)
진공계
목차
전자총이란
전자총의 역할은 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급한다. 충분한 양의 이차전자를 생산할 수 있을 만큼 많은 양의 1차 전자를 만들되, 자기렌즈에 의해서 작은 빔을 효과적으로 형성하도록 고안되어 있다.
SEM 전자총의 종류
열방사형
(thermionic electron gun)
전계방사형
(field emission electron gun)
열방사형(thermionic electron gun)
열방사형(thermal emission)의 경우 음극은 주로 텅스텐으로 약 100㎛ 직경의 선 필라멘트로서 끝이 V자 모양을 가진 머리핀 모양으로 구부러져 있다, 텅스텐은 일함수 값이 4.5 eV로 크지 않고, 융점은 3,650K로 매우 높기 때문에 필라멘트로 많이 사용되며, 일반적으로 필라멘트에 직접 전류를 가하여 약 2,700K까지 가열한다.
wehnelt cylinder에 마이어스 전압이 가해지면 wehnelt cylinder는 음극인 필라멘트보다 더 마이너스 전압을 띠게 되고, 이로 인해 필라멘트에서 방출된 전자는 척력을 받게 되어 가운데로 집속된다. 음극인 필라멘트와 양극판 사이에 가해지는 전압을 가속전압이라고 하는데 이에 의해 필라멘트에서 방출된 전자가 가속되어 아래 방향으로 방사되면서 전자빔을 형성하게 된다.
전계방사형(field emission)
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2012.04.12
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