1.실험 방법
① 모든 밸브가 잠겨있는지 확인한다.
②증착시키려는 소스를 철판 위에 작은 시약 스푼으로 한 스푼 올려놓는다.
③ 셔터를 닫은 상태에서 슬라이드를 끼운다.
④ Rotary Pump Switch를 ON으로 한다.
⑤ Rough Valve를 풀어준다.
⑥ 진공의 정도를 까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다.
⑦ Rough Valve를 잠그고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion Pump를 ON으로 한다.
다.
⑧ Foreline Valve를 풀어 완전히 열어준다.
⑨ Diffusion Pump를 켜준 후 따뜻해 질 때까지 (가열된 기름이 확산 될 때 까지) 기다리다가 따뜻해지면 그 때 Main Valve를 열어준다.
⑩ 진공도를 이온게이지를 이용하여 수시로 확인해 주면서 기다린다.
⑪ 이온게이지 상에 정도의 진공도를 확인하게 되면 셔터를 열어준다.
⑫ 텅스텐 보트에 전류를 흘려주어 증착이 시작되게 한다.
⑬ 증착이 끝나면 서서히 전류를 차단하고 Main Valve를 잠근다. 그리고 Leak Valve를 열어 공기를 주입한다.
⑭ Diffusion Pump가 냉각되면 Foreline Valve를 잠근다. 그리고 Rotary Pump Switch를 OFF로 하고, Main Switch도 OFF로 한다.
⑮ 다시 Chamber 내의 공기를 빼내 진공상태를 만들어 기계의 수명을 유지하도록 한다.
2.실험 결과
1.성공적으로 기판에 증착된 모습↑
2.증착률에 관한 수식
증발원으로부터 증발된 분자들은 기판에 증착되기 전에 어떤 방향성(directionality)을 가지며 운동하는데, 기판위로 순도가 매우 높고, 고르게 방출되는 이상적인 증착의 경우 증착률은 다음의 Knudsen에 의한 emission cosine law에 의해 결정된다.
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2013.05.01
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