Scanning Electron Microscopy (SEM)
[예비레포트]
1. 실험목적
1. SEM 장비의 원리를 이해한다.
2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.
3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다
2. 실험이론
▷ SEM(Scanning Electron Microscopy) 이란
- 고체상태에서 작은 크기의 미세조직과 형상을 관찰 할 때 쓰이는 전자 현미경
• 분석능력 -Resolution : 0.2nm , -Magnification : ~300000
• 시편에 충돌 시 발생하는 2차 전자를 사용하여 상을 만든다.
장 점 단 점
초심도가 깊다
사용배율의 범위가 넓다 TEM 에 비해 해상력 낮다
기기조작 시료 취급이 용이 진공 유지가 필수적이다
분석 소요시간이 짧다 액체, 젖은 시료 취급 불가
TEM에 비해 시편준비 간편
▷ 2차 전자 발생
탄성산란(Elastic Scattering)
☞ 에너지를 잃지 않은 채 방향만 바꾼 전자
☞ 원자핵과 충돌 (backscattered electron)
☞ 시편을 빠져 나가기 전 다른 원자들과
상호작용으로 인하여 2차전자 발생
☞ backscattered electron이 전자현미경
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2013.05.02
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