실리카 박막의 제조 과정
1. 서론
졸-겔 법을 이용하여 산화물 박막을 제조할 수 있다는 가능성은 1930년대에 제안되었으며, 금속 알콕사이드를 원료로 사용하여 졸-겔 공정을 통해 박막을 제조할 경우. 결이 겔화되는 과정에서 만나게 되는 중요한 문제는 파괴, 균열 형성 및 표면조도의 약화, 잔류 응력,
박막의 불균일, 박막과 기판 계면에서의 반응 등을 들 수 있다. 이와 같은 현상은 용매와 유기첨가제의 적절한 활용으로 용액의 점도, 표면장력, 선구물질의 농도등을 조절하여 극복할 수 있다. 박막 코팅 방법에는 딥코팅, 스핀 코팅, 메니스커스 코팅, 스프레이 코팅 등이있다. 본 실험 제조 방법은 상대적으로 경제적인 졸-겔 법을 선택하였고, 딥 코팅으로 실리카 박막을 제조하였다.
2.실험 방법
①원료 및 조성
본 실험에서는 실리카 박막을 제조하기 위해 사용한 원료의 종류와 몰비율 질양비율을 표 1에 나타내었다. 금속 알콕시드로는 테오스(Si(OC2H6)4), 가수분해제로는 물(H2O), 촉매제로는 질산(HNO3), 알콜용매로는 에탄올(C2H6OH)등을 이용하였다.
Si(OCH)
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2013.07.19
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