반도체 - 반도체 전前공정 및 CVD 공정
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반도체 - 반도체 전前공정 및 CVD 공정
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2013.12.10
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반도체 - 반도체 전前공정 및 CVD 공정
반도체 전前공정 및 CVD 공정
반도체 전前공정요약
웨이퍼제조공정
12
웨이퍼8대가공공정
1.산화
2.감광액
5.식각
3.노광
6.이온주입
4.현상
8.금속배선
7.화학기상증착
CVD
....
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