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실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비]
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실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비]
1. 실험 목적
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.
2. 실험 과정
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐 장갑을 낀다.)
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat를 2개 준비하여 각각의 질량을 측정한다.
③ 각각의 heating boat에 ALQ3를 담고 질량을 측정한 뒤 chamber내에 고정시킨다.
④ 기판에 증착 유리판을 고정 시킨 후 기판을 고정 하고 chamber를 밀폐 한다.
2) 증착 과정
① 쿨러을 켠다.
② R.P.Leak 밸브 및 3way 벨브, Air Leak, Main 밸브가 잠겼는지 확인한다.
③ 메인 스위치를 켜고 로터리 펌프를 켠다.
④ Pirani gauge를 확인한 후 10-2Pa까지 압력이 떨어지면 Rough way 쪽으로 밸브
를 연다.
⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 Fore way쪽으로 밸브를 연다.
⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 Rough way쪽으로 한번 더 돌려서
메인 밸브 아래와 위의 압력을 맞춘 다음 다시 Fore way로 밸브를 돌리고 오일
확산 펌프를 켠다.
⑦ 오일 확산 펌프가 충분히 작동한다고 생각되면 Main 밸브를 열고 챔버 내의 압
력을 4X10-3Pa까지 떨어뜨린다.
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2013.12.26
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