화학공학실험 - 진공 상에서의 물질의 증착
Ⅰ 실험목표
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.
Ⅱ 실험 이론
① 압력 단위 환산
1atm = 101325Pa = 1.01325bar = 760mmHg(torr) = 14.696 psi
② 증착속도(Å/s)
deposition tickness
monitor device
옹스트롬 [angstrom] 으로, 빛의 파장, 원자 사이의 거리를 재는 데 사용하는 길이의 단위이며, 1Å = 0.0000000001m = 1*10^-10 m 를 나타낸다. 나노기술과 같은 분자 또는 원자 수준을 다룰때 자주 쓰이는 단위이다.
진공증착 실험에서는 시료가 증착되는 속도를 나타내며, 초당 아주 미세한 속도로 증착됨을 알 수 있다. deposition tickness monitor device를 이용해서 증착속도를 측정할 수 있다.
③ 시료: aluminum quinoline
줄여서 alq3 이라 불리우며 분자량은 459.44g/mol이다. OLED 제작에 쓰이는 형광물질이다.
Ⅲ 실험 과정
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐장갑을 낀다.)
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat를 2개 준비하여 각각의 질량을 측정한다.
③ 각각의 heating boat에 ALQ3를 담고 질량을 측정한 뒤 chamber내에 고정시킨다.
④ 기판에 증착 유리판을 고정 시킨 후 기판을 고정 하고 chamber를 밀폐 한다.
2) 증착 과정
① 쿨러를 켠다.
② R.P.Leak 밸브 및 3way 벨브, Air Leak, Main 밸브가 잠겼는지 확인한다.
③ 메인 스위치를 켜고 로터리 펌프를 켠다.
④ Pirani gauge를 확인한 후 10-2Pa까지 압력이 떨어지면 Rough way 쪽으로 밸브를 연다.
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2013.12.26
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