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전해연마
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전해연마
반도체 제조공정에 필수적인 부품인 고청정 가스관의 내면을 초평활한 고품위 표면으로 실현하기 위해서는 최종공정으로 전기화학 가공인 전해연마(electropolishing)가 반드시 필요하다.
기계연마가공 후에 표면거칠기 수치가 양호하게 되더라도 표면에는 가공변질층이 발생되어 있기 때문에 표면적은 감소되어 있으나 안정된 극청정 상태의 내표면은 얻을 수 없다.이러한 표면에 평활하고도 화학적으로 안정을 시키는 방법으로서 전해연마 방법이 실시적용되고 있다.
●전해연마기술의 문제점
각종 연마방법은 각각의 방법에 따라 문제점을 포함하고 있으므로 초청정화를 위한 세정 및 기본처리가 필요하다.
연마기술의 문제점은 다음과 같다.
1)기계가공에서 가공된 표면거칠기(Rmax) 2. 0m 이상의 제품을 전해연마로서 표면거칠기(Rmax) 0.7m 이하로 평활화하는 경우는 연마능력이 큰 HIGH POWER를 이용함으로써 가능하지만 전해연마용액에 포함되어 있는 Na성분제거가 곤란하다.
2)LOW POWER를 이용한 전해연마인 경우에는 전해연마 용액상의 불순성분 제거하기가 비교적 용이하지만 연마능력이 작으므로 고정밀도의 예비연마가 필요하다.
3)강(鋼)중의 비금속 개재물이 원인이 되어 PIT(孔食)가 발생한다.
4)강중의 불순물이 원인이 되어 입계(粒界)부식이 발생한다. 이러한 문제점은 연마기술 및 세정기술에서도 기인하지만 소재 자체의 청정성과 최종 연마전의 정밀가공기술에서 기인하는 사항이 대부분이다.또한 일반적인 평가방법인 표면거칠기 측정시험에서는 오염의 원인이 되는 PIT 및 입계부식에 대해선 측정할 수 없다.
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2011.03.11
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