플라즈마절단과 레이저 절단의 원리
1. 플라즈마 및 레이저 발생원리
◈플라즈마 발생원리
플라즈마란 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체 상태를 의미하며 또는 아크 방전의 전극간 기체, 방전관(형광등 등)내의 발광부분, 전리층 등의 대기층, 태양의 코로나 등과 같이 고도로 전리된 기체를 말하기도 하며 물질의 제4태라고도 불린다.
◈발생원리
플라즈마를 만들기 위해서는 자연 상태의 원자나 분자를 이온화 시켜야 한다. 그러기 위해서는 높은 열을 가해주어여 한다. 즉 수십 만도에서 수백만도의 고온이 필요하다. 그러나 높은 전계를 가해주면 낮은 온도에서도 원자나 분자를 이온화 시킬 수 있게 된다. 예를 들면 아르곤(Ar)가스의 경우 1torr - 100Torr사이의 압력에서는 1Cm당 100V이상의 전계만 있어도 플라즈마를 생성시킬 수 있다.
원자나 분자가 이온화하기 위해서는 전기장에 의해 가속된 자유전자나 이온과 충돌해야하는데 이때 3가지의 상태를 갖게 된다. 첫 번째가 반발(Atom elastic collision)이다. 이것은 그림 1과 같이 충분히 가속되지 못한 전자나 이온이 충돌했을 때인데 이때에는 아무런 변화가 없게 된다.
두 번째가 이온화(Ionization)이다. 그림 2와 같이 가속된 자유전자나 이온과 충돌하여 새로운 이온을 만들고 또 하나의 자유전자를 만들게 된다.
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