진공의 기초이론
KRISS 진공기술센타 2005. 5.9정광화
Khchung@kriss.re.kr
진공
절대진공 : 아무것도 없이 비어있는 공간 실제진공 : 대기압보다 낮은 일정공간 *** 진공 과학기술의 시작과 끝은 기체분자에 대한 이해
진공기술
발생기술
실험 및 공정 시 불순물(기체 및 개개 분자)이 없는 상태를 만들고 유지하는 기술
응용기술
진공 중에서 기체, 이온, 전자, 광자, 플라즈마 등을 제어 조절하여 각종 첨단 실험 및 생산에 응용하는 기술
지수의 표현
1,000,000,000,000,000 1,000,000,000,000 1,000,000,000 1,000,000 1,000 10.001= 1/1,000 0.000 001 =1/1,000,000 0.000 000 001= 1/109 0.000 000 000 001 =1/1012 = 1015 = 1012 = 109 = 106 = 103 = 100 = 10-3= 10-6= 10-9= 10-12 m(밀리) µ(마이크로) n(나노) p(피코) f(펨토) P(페타) T(테라) G(기가) M(메가) k(킬로)
0.000 000 000 000 001=1/1015 = 10-15
현상적으로 구분한 진공의 특성
압력차이에 의한 힘; 정의로부터도 알수 있다. 빠른 증발 : 물은 약1/40 기압에서는 상온에서 끓는다. 냉동건조 소리와 열의 차단 : 매질을 없애거나 줄이는 효과 운동저항의 감소 : 입자들의 장거리 비행가능. 플라즈마 유지 :먼 거리 비행 중 충분히 가속되어 쉽게 방전. 산화방지 : 산소(산화의 주범)를 없애주므로 인해.. 청정표면 : 표면에 오염원으로 작용하는 기체를 없애주는 효과
진공 단위-압력
기체에서 기체 입자의 수와 입자충돌의 강도에 의해 압력이 결정됨 • 기체의 형태적 성질 : 확장성, 무형성, 독립성 • 단위 :
SI 추천단위
1 atm = 14.7 psi = 760 torr = 101325 Pa =1013.25 mb=1.033 kgf/m2
우주환경과 진공도
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2009.06.04
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