X- ray diffractometer (XRD) 의 구성
[1] 일반적으로 Generator, Goniometer, Monochromator, 검출기, 계수기록회로로 구성.
1. X-ray Generator (X선 발생장치)
1) X-ray Tube (X선관)
: x선관은 열전자 2극 진공관의 일종이다. 가열된 음극(일반적으로 텅스텐 필라멘트 사용)으로부터 나온 열전자를 가속시켜 Target(대음극) 에 충돌하면서 X선이 방사된다.
① Sealed-off X-ray Tube (밀폐형 Tube),
회전양극 X-ray Tube (Rotating anode)
: 열전자를 방출하는 텅스텐 필라멘트의 수명을 길게하고, Target 표면의 오염을 방지하기 위하여, 내부는 고진공으로 되어있다.
② 냉각
: 전자가 가지고 있는 Energy의 0.1% 정도는 X선으로 변환 되지만, 대부분은 열로 변환되어 없어진다. 이러한 이유로 Target 표면을 물로 냉각시킨다.
③ X-ray Tube 의 Window(창)
: X선이 외부로 나오도록 되어있는 Window(창)은 X선을 잘 통과시켜야 하며, 고진공에 잘 견뎌야 한다. 이 Window의 재료로는 Be이 많이 사용된다.
④ X-ray Tube 의 Take-off Angle
: Target 상의 실제집점의 크기를 W, Take-off Angle 을 라고 하면, 실효집점의 크기는 W sin 로 표시할 수 있다.
2) High Voltage Generator (고전압 발생장치)
고전압 발생장치로부터 High Voltage Cable 을 통하여 X-ray Tube에 음의 고전압이 공급된다. 고전압 발생장치는 고전압(승압) Trans, 정류회로, 평활회로, 전압안정회로, 전류안정회로 등으로 구성되어 있다.
3) 각종 보안회로
:X선 발생장치의 보호 및 인체의 안전을 위하여 각종 보안장치가 구성되어 있어야 한다.
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2013.05.08
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