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ICP 기기조사에 관해
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ICP [ Inductively Coupled Plasma ]
1. 유도결합 플라즈마의 원리
유도결합플라즈마(ICP)의 원리는 주로 석영 등의 유전체 반응기 외부에 코일을 감아 전기장을 변화시키면 코일의 내부에 유도자장이 발생하게 되고 그에 따른 2차 유도전류가 반응기 내부에 형성되는 것을 이용하여 발생시키는 고밀도 플라즈마이다.
유전체 반응기 외부에
코일을 감는다
▼
코일에 걸리는
전기장 변화( RF)
▼
내부에 유도 자장 및
2차 유도전류 발생
▼
반응기 내부에
고밀도 플라즈마 발생
2. 기존 ICP 방법의 문제점
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2013.03.11
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